振动传感器

订阅
1篇文章

清华大学MEMS振动传感器样品通过验收

MEMS传感器是利用集成电路技术工艺和微机械加工方法将基于各种物理效应的机电敏感元器件和处理电路集成在一个芯片上的传感器。具有体积小、 [详细]

2018-10-06 13:50
加载更多
意见反馈
返回顶部